成分分析EDX主要用途
观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。
成分分析EDX性能参数
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm）
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）；
400~2000000（实际显示倍率）
成分分析EDX应用范围
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析；
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示；
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断；
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
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成分分析EDX
百度 该书还总结分析了神话生态伦理意象对传统自然观形成与走向的直接影响。
关键词： 成分 EDX EDS 失效分析 半导体芯片
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